半导体真空帮浦供应商|台湾半导体产业的隐形推手一、真空技术:半导体制程的生命线半导体制造堪称全球最精密的工艺系统之一,其中多数核心制程(如蚀刻、沉积、光刻)都必须在「高真空」环境下进行。真空泵浦即是维持这些关键环境的基础设备。避免污染:阻绝空气中微粒或分子干扰制程。控制反应:精准调控气体反应与薄膜沉积速率。粒子传输:提升离子能量传递与方向性。热传导抑制:减少热扩散,确保温控精度。二、真空帮浦在半导体制程中的应用与分类无论是前段晶圆制程或后段封装测试,「真空帮浦」的角色都不可或缺。真空泵浦依不同真空需求及应用场景,可分为下列几大类:干式真空帮浦:不使用油润滑,洁净无污染,适用于蚀刻与CVD等制程