ULVAC 真空帮浦

ULVAC 是日本领先的真空技术公司，其生产的真空帮浦广泛应用于半导体、电子、光电、材料及制药等高科技产业的真空制程。ULVAC 提供多种类型的真空帮浦，以满足不同工艺需求。

油式真空帮浦如油迴转泵，适合需要高真空度及耐腐蚀的环境，提供稳定且强大的抽气能力。干式真空帮浦则包括螺桿型与膜片型设计，无需润滑油，避免油污染，适合对洁净度要求严格的制程。罗茨泵通常与油式或干式泵搭配使用，能有效提升高真空范围内的抽气速率。油扩散帮浦则专注于创造超高真空，满足最严苛的工艺条件。

ULVAC 真空帮浦在晶圆吸附、真空搬运、薄膜沉积等半导体制造关键工序中发挥核心作用，确保制程品质与效率。

总结来说，ULVAC 以多元化的真空帮浦产品线和卓越技术，成为高科技产业不可或缺的真空解决方案供应商。