工业用真空泵浦：种类、选择与维护全指南

在当代工业制程与高科技制造的高度要求下，真空技术已成为核心技术之一。无论是半导体晶圆制造、光电镀膜、精密干燥、食品与药品包装，

还是化工制程中的气体处理与反应控制，高效且稳定的真空泵浦系统，皆是确保生产效率与产品品质的关键设备。

然而，面对市面上琳瑯满目的真空泵浦产品，企业在选型、应用与维护上，常面临挑战。本文将提供一份完整且实用的工业用真空泵浦选型与维

护指南，协助您深入掌握真空技术的应用脉络，做出最明智的採购与营运决策。

---

一、工业用真空泵浦概览：六大主流机型与应用解析

真空泵浦的基本功能是抽除密闭空间中的气体分子，创造不同等级的真空环境。根据其运作原理与结构设计，最常见的工业用泵浦可归纳为以下

六种类型：

名称	英文名称	特点简述	典型应用	操作真空度（参考值）
液封式真空泵浦	Liquid Ring Vacuum Pump	利用水或其他液体作为工作液及密封介质，耐湿气与腐蚀性气体，低温运行、结构耐用。	化工、制药、造纸、食品加工、环保工程等含湿含尘环境。	760 Torr 至 25 Torr
油环式真空泵浦	Oil Ring Vacuum Pump	使用油液密封与润滑，结构稳定、性价比高，适用于中低真空应用。	塑胶成型、真空干燥、包装设备、医疗器械、汽车工业等。	200 Torr 至 3 Torr
油式旋片式真空泵浦	Rotary Vane Vacuum Pump	结构简单，广泛应用，具高真空度；依赖油液润滑与密封，维护频率适中。	实验室、轻工业、真空包装、空调维修、镀膜前级泵等。	160 Torr 至 0.3 Torr
干式旋片式真空泵浦	Dry Rotary Vane Vacuum Pump	无需润滑油，避免污染，维护成本低，适用于对洁净有需求之场合。	食品、印刷、医疗仪器、洁净制程前端。	760 Torr 至 310 Torr
机械助力真空泵浦	Mechanical Booster Pump	又称鲁兹泵，需搭配前级泵，适用于中高真空且高排气速度需求之场景。	真空冶金、真空炉、冷冻干燥、镀膜、半导体系统等。	40 Torr 至 10−4 Torr（需搭配前级泵）
干式螺旋式真空泵浦	Dry Screw Vacuum Pump	无油运转、洁净度高、耐化学腐蚀、维护简易，属高阶应用专用泵。	半导体、太阳能、TFT-LCD、光学镀膜、制药等高洁净环境。	0.1 Torr 至 10−3 Torr

---

二、进阶真空技术应用的泵浦类型

针对高真空、超高真空或特殊应用需求，以下泵浦机型常见于先进制程与科研设备：

• 扩散泵 (Diffusion Pump)：利用加热油蒸气流将气体分子携出，适用于科研、太空模拟等。真空度高但有油污染风险。

• 涡轮分子泵 (Turbomolecular Pump)：高速叶轮推动气体，洁净、无油、抽速快，是高真空设备的主力。

• 吸附泵 (Sorption Pump)：利用吸附剂低温吸附气体，无油污染，适合极高洁净需求。

• 低温泵 (Cryopump)：透过低温冷凝方式达成超高真空。常见于半导体、真空镀膜等。

• 离子泵 (Ion Pump)：将气体电离并吸附于阴极表面，无活动部件，可长期稳定维持真空。

• 蒸气/液体喷射泵 (Jet Ejector)：结构简单、无转动部件，适合大气流或腐蚀性气体抽取，但真空度有限。

  
  

---

三、选型指南：如何挑选合适的真空泵浦？

选择真空泵浦时，建议依据以下关键因素进行评估：

• 所需真空等级：粗真空、中真空、高真空或超高真空？

• 气体性质：是否含腐蚀性、湿气、粉尘、有毒气体？

• 洁净需求：是否需无油、无污染作业？

• 抽气速率与系统容量：依实际制程需求决定泵浦规格。

• 维护频率与成本考量：选择维护简便、寿命长的泵型。

• 是否与其他泵浦搭配使用：如前级泵＋加速泵设计。

---

四、老旧设备维修与替换评估

老旧泵浦是否值得维修或应全面替换，应视下列情况评估：

• 运转异音、真空度下降、油液污染明显。

• 经常性故障或耗能过高。

• 泵浦已停产、零件难寻。

• 无法满足现今制程规格或洁净要求。

专业技术团队可协助进行性能检测、耗损评估与改机建议。

---

五、日常保养重点：延长真空泵寿命的实用建议

• 定期更换润滑油：保持油质纯净与黏度，防止污染与磨损。

• 过滤器清理与更换：防止异物进入泵体损坏内部零件。

• 监控真空表与电流负载：及早发现异常状况。

• 避免超负荷运转与频繁启停：维持稳定抽气效率。

• 建立预防性保养制度：可大幅延长设备寿命、降低突发故障机率。

  
  

---

六、专业技术伙伴推荐：旭豪真空科技有限公司

在真空技术领域，选择具备实务经验与技术能力的专业合作伙伴，对于提升设备运转效能与系统稳定度至关重要。

我们推荐您联系【旭豪真空科技有限公司】，该公司拥有：

• 超过 30 年实务经验与工程技术团队。

• 一站式服务：选型谘询 → 系统规划 → 安装 → 维修保养。

• 专精于液封、干式、旋片、螺桿、涡轮与低温泵浦整合应用。

• 客制化设计与紧急维修支援能力。

  
  

---

常见问题 (FAQ)

Q1：什么是真空度？它如何影响我的应用？

A1：真空度是指密闭空间内气体的稀薄程度，通常以压力单位表示（如Torr或Pa）。不同的应用需要不同的真空度，例如，半导体制造需要极高的真空度以避免粒子污染，而真空包装则可能只需要中等真空度。适当的真空度对于确保产品品质和制程效率至关重要。

Q2：干式真空泵浦和油式真空泵浦的优缺点是什么？

A2：干式真空泵浦的优点是无需润滑油，因此能提供无油、洁净的真空环境，适用于对洁净度要求高的应用，且维护成本较低。然而，其初期投资成本通常较高。油式真空泵浦则具有结构简单、性价比高、能达到较高真空度的优点，但存在油污染风险，且需要定期更换润滑油，维护频率相对较高。

Q3：我如何判断我的真空泵浦是否需要维修或更换？

A3：如果您的真空泵浦出现以下任何一种情况，都可能需要考虑维修或更换：运转时产生异常噪音、真空度明显下降无法达到制程要求、油液频繁污染变质、设备经常性故障停机、能耗显着增加、或是泵浦已停产导致零件难以取得。建议寻求专业技术团队进行评估。

Q4：预防性保养对真空泵浦的重要性是什么？

A4：预防性保养对于延长真空泵浦的寿命、提高设备稳定性、减少突发故障至关重要。透过定期更换润滑油、清洁或更换过滤器、监控运转参数等措施，可以及早发现并解决潜在问题，避免因小失大，确保生产线的连续运作。

Q5：选择真空泵浦时，除了真空度外，还需要考虑哪些因素？

A5：除了所需的真空度之外，您还需要考虑被抽气体的性质（是否有腐蚀性、湿气、粉尘、毒性）、对洁净度的要求（是否需要无油运转）、所需的抽气速率和系统容量、维护的频率与成本，以及是否需要与其他泵浦搭配使用（例如前级泵与加速泵的组合）。

---

联络资讯

旭豪真空科技有限公司

Shang Haur Vacuum Technology Co., Ltd.

地址：236 新北市土城区大安路142号

电话：+886-2-8076-3000

传真：+886-2-8076-3300

网站：www.shang-haur.com

联络人：徐建荣 (Mark Hsu) / 经理

手机：+886-932-392-460

Email：sh.vacuum@msa.hinet.net

---

立即行动！提升您的真空系统效能！

您的生产线是否正面临真空效率不彰的困扰？是否在寻找最符合您制程需求的真空解决方案？

无论是真空泵浦的选型谘询、系统规划、安装，或是专业的维修保养服务，旭豪真空科技有限公司都将是您最值得信赖的伙伴。凭藉超过 30 年的实务经验与领先技术，我们致力于为您的企业创造更稳定、更高效的真空环境。

现在就联系旭豪真空科技专业团队，让我们的专家为您的设备进行免费评估，并提供客制化的最佳解决方案！

别让不适当的真空设备限制了您的产能！立即拨打电话或透过电子邮件联系我们，开启您的高效真空之旅！